石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
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石墨坩埚的储存
坩埚必须保存在干燥、通风的地方,要放置在木制托架上。避免将坩埚直接放在砖、土或水泥地面上,坩埚受潮会导致釉层损坏从而降低坩埚的熔炼效率和使用寿命,情况严重时甚至会出现底部脱落。
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石墨材料平均颗粒,在一些对导电情况要求严格的行业中,石墨材料的平均颗粒度直接影响到材料放电状况,一般情况下,材料的平均颗粒度越小,材料的放电越均匀。表面质量越好。对于表面要求不高的锻造、压铸模具,通常使用颗粒度较粗的石墨才老,冶炼石墨坩埚生产,对于表面要求较高的电子模具、一般推荐客户使用颗粒度较小的石墨材料、以确保更小的材料损耗,从而保证模具的精度和表面粗糙度。
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