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石墨坩埚使用时添加剂的使用!

在使用添加剂时,必须严格遵照添加剂的使用说明书进行操作。在使用添加剂时,必须严格按照规定的剂量进行添加,过量使用添加剂会大大缩短坩埚使用寿命。

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石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,熔铝石墨坩埚厂家,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。

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经过预热后,应尽快将坩埚加热到900℃-1000℃(2小时左右),并保温20-30分钟,然后升到或降至工作温度。目的是为了快速通过石墨坩埚易氧化温度区域。坩埚经过次预热后通常不需要再预热,除非坩埚再次受潮。(每次停炉后须再次预热坩埚。)

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